主要参数指标 |
元素 | 含量 | 备注 |
氮（N） | ＜ 50 ppb | 采用ERP（电子顺磁共振）测得 |
硼（B） | ＜ 1 ppb | 用 SIMS（二次离子质谱仪）测得 |
碳（13C） | 1.1% | 天然丰度 |
碳（12C） | 98.9% | 天然丰度 |
热学性能 |
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热导率 | ＞2000 Wm-1K-1 |
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热膨胀系数(300K) | 1.0±0.1 ppm·K-1 |
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热膨胀系数(1000K) | 4.4±0.1 ppm·K-1 |
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几何性能 |
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标准尺寸 | 2mmx2mm/3mm×3mm |
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标准厚度 | 0.5mm |
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抛光面粗糙度(nm) 上下表面 | Ra＜ 5 nm |
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抛光面粗糙度(nm) 侧面 | Ra＜ 100 nm |
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晶体学取向 | 100，110，111 |
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